微電子行業(yè)的密封解決方案
2023-05-04 14:57:30
在微電子行業(yè)，密封材料面臨嚴苛挑戰(zhàn)。它們要從容應對等離子、氣體、高溫、酸堿等不同腐蝕，保持“纖塵不染”的高貴品質(zhì)，滿足行業(yè)對密封材料的高潔凈度要求。否則，密封材料容易出現(xiàn)腐蝕、溶脹、老化等問題，導致密封失效。
派克漢尼汾旗下的FFKM（全氟橡膠）無懼嚴苛工況，它們擁有低顆粒物析出、高潔凈度、耐化學介質(zhì)及耐電離輻射等高品質(zhì)性能，耐受溫度可高達320℃，F(xiàn)FKM由優(yōu)質(zhì)的氟碳化合物組成，其中超高潔凈的FFKM在單獨的制造單元生產(chǎn)，保護材料不受塵埃、模具涂料等污染，為材料潔凈度保駕護航。
針對微電子行業(yè)的具體應用工況，派克漢尼汾旗下不同系列的FFKM各有所長，下面，我們就來解鎖其中兩款FFKM，看看它們所擁有的神奇密封術(shù)吧！
[ 關(guān)鍵詞 ] 耐壓變
雖然FFKM耐高溫和耐化學腐蝕能力非常優(yōu)秀，但耐壓變性能卻相對較差。如果密封件的回彈能力減弱發(fā)生形變，其橡膠特性就會受到嚴重影響，進而導致泄漏。針對這一行業(yè)難題，派克漢尼汾推出ULTRA FF156
在實驗室，我們將相同硬度的FF156和其他類似耐化學腐蝕的FFKM產(chǎn)品進行耐壓變性能對比測試。
數(shù)據(jù)顯示，F(xiàn)F156在耐壓變性能方面優(yōu)于其他兩種材料，使用壽命更長。
[ 關(guān)鍵詞 ]顆粒物析出，抗腐蝕能力
在使用NF3和O2等離子體進行清潔，沉積SiH4的化學氣相沉積（HDP-CVD）工藝中，一家制造商使用行業(yè)領先的密封件，還是發(fā)生了腐蝕。如下圖所示，材料I和II發(fā)生嚴重降解，約20%的密封材質(zhì)受到侵蝕；而在相同的使用時間內(nèi)，F(xiàn)F302 O形圈沒有受到侵蝕。
事實上，F(xiàn)F302-75的實驗表明，它能夠耐受具有強腐蝕性的蝕刻和清潔化學成分。因此，越來越多的半導體行業(yè)客戶開始采用FF302，以降低成本。
